安川電機は５月28日、半導体基板のウエハーを搬送するクリーンルーム向けロボット「SEMISTAR-GEKKO（セミスターゲッコー） MD124D」（＝写真左）を発売した。

　減速機を搭載せず、自社製のACサーボモーター「Σ-7（シグマセブン）シリーズ」でロボットアームを直接駆動させるダイレクトドライブ駆動を採用。位置決め精度を従来機種比で２倍にし、振動も同６分の１に抑えた。300 mmの半導体ウエハーの搬送に使える。
　併せて、小型で軽いクリーンロボット用の標準コントローラー「SR200」（＝写真右）も開発した。自社開発のマシンコントローラーを採用し、従来機種比で体積は42％、質量は35％減を実現。半導体業界で広く使われる国際規格（SEMI規格）などに適合する。